四(si)(si)氟化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)分子(zi)式CF4，常(chang)溫(wen)下(xia)為無色氣體，四(si)(si)氟化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)只能微(wei)溶于水；對熱非(fei)常(chang)穩定，化(hua)(hua)學性(xing)質比四(si)(si)氯化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)更不活潑。分子(zi)呈(cheng)正四(si)(si)面體結構。四(si)(si)氟化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)是(shi)目前微(wei)電子(zi)工業(ye)中(zhong)用(yong)量(liang)大(da)(da)的(de)(de)等離子(zi)蝕刻氣體，其(qi)高純四(si)(si)氟化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)高純氣配高純氧(yang)氣的(de)(de)混合體。但此外四(si)(si)氟化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)也是(shi)一(yi)(yi)種造成溫(wen)室效應的(de)(de)氣體。它(ta)非(fei)常(chang)穩定，可以長時間停(ting)留在大(da)(da)氣層中(zhong)，是(shi)一(yi)(yi)種非(fei)常(chang)強大(da)(da)的(de)(de)溫(wen)室氣體。它(ta)在大(da)(da)氣中(zhong)的(de)(de)壽命約為50,000年，全球(qiu)增溫(wen)(全球(qiu)暖化(hua)(hua))系數是(shi)6,500（二氧(yang)化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)的(de)(de)系數是(shi)1），所(suo)以去除生產過(guo)程中(zhong)不必要的(de)(de)四(si)(si)氟化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)氣體非(fei)常(chang)重要。近期有(you)一(yi)(yi)實驗對去除四(si)(si)氟化(hua)(hua)碳(tan)(tan)(tan)氣體作出了研究，接下(xia)來我們就來了解一(yi)(yi)下(xia)！

　　不同添加氣體對微波電漿反應器分解四氟化碳之影響分析
　　本研究以低溫微波電漿反應器探討加入不同比例的添加氣體對于全氟化物(Perfluorinated Compounds,PFCs)的分解去除效率(Decomposition and Remocal Efficiency, DRE)的影響，實驗中採用傅立葉轉換紅外光譜儀（FTIR）來定量分析DRE值，并對處理后的產物分析、系統能量損耗及經濟價值考量來進行討論。
　　實驗中使用自行設計之微波電漿反應器，以CF4為模式氣體，配合多種參數設定：CF4進流量、添加氣體（氬氣、一般空氣、甲烷、氮氣與氧氣）與微波電漿輸出功率大小，在控制總進流量的情況下探討不同添加氣體對微波電漿系統處理CF4的分解去除效率。經適當修正各個操作參數后（微波電漿功率900W、頻率200Hz、總進流量500sccm、添加氣體為100sccm空氣），DRE值可從14.7%（無添加氣體）提升至37.6%，且可獲得較高的能量效益與成本效益。
　　在添加氣體方面，添加氣體可提高系統對CF4的去除率，不同的添加氣體對CF4之DRE值有10%~40%的提升，其中以添加100sccm氬氣提升的DRE值是（40%）。以微波電漿輸出功率方面而言，提高電源輸出功率表示輸出的微波能量增加，所以對系統處理CF4可以得到較高的去除率；但因本研究受流量控制及電源輸出功率的限制，故DRE值較其他研究者低，如能將電漿功率提升應更能提高DRE值。在產物分析方面，則以傅立葉轉換紅外光譜儀（FTIR）分析CF4經電漿火炬分解后之氣體，發現產物有CO2、H2O、HF、NO2和未分解的CF4。